真空炉温度均匀性的测量过程

 　　真空炉温度均匀性的测量过程

　　1、准备工作

　　将测量热电偶及控温热电偶按GB/J351—1996《中华人民共和国国家计量鉴定规程》中相关规定进行检测，检测合格方能进行炉温均匀性测定。自炉体拆下测温孔的盖板，将9根经过检测合格的热电偶依次穿上密封垫圈、橡胶垫圈，自法兰孔中引入炉腔内，并依次按图1位置固定在位于炉门口支撑架上，支撑架的尺寸为有效加热尺寸。将支撑架小心地移入炉腔内，放在炉床上，调整其位置，使之恰好与有效加热空间重合。固定测温法兰的热电偶孔，依次放入密封垫圈，橡胶垫圈上涂布真空脂，旋紧压紧螺栓，安装好法兰。

　　按操作规程手动先后启动真空机械泵、真空罗茨泵抽真空，直到工作真空度到达2Pa后，停机30min，观察真空计读数，看压升率是否在正常的0.5Pa/h之内,正常则继续进行炉温均匀性的测量，不正常则重新调整旋紧螺栓，重新测定压升率，直到正常，才能继续进行炉温均匀性的测定。

　　2、测定过程

　　根据工艺需求进行选定测量温度点为650℃、850℃和1000℃，在FP21控温仪表上，设定升温曲线。在控制偶到设定温度120min后，开始测定各支热电偶的值。每隔5min读取1次，连续3次，如果各点温度在所要求温度的±5℃以内，则此温度点测量完毕，否则继续等温，直到温度均匀或时间到达3h(工艺设定的保温时间)为止并记录各点的温度。调整FP21表，自650℃升温至850℃，保温120min，重复650℃温度点测量步骤。

　　同样自850℃升温到1100℃，保温120min，重复650℃温度点测量步骤。以上数据分别填入记录表中，完成测定后，按正常的空炉冷却步骤进行降温。

　　3、恢复设备

　　打开炉门，拉出测量支架，拆开固定热电偶的铁丝，拆下法兰盘，安装好原盖板，按正常使用进行压升率测试，按操作规程手动先后启动真空机械泵、真空罗茨泵抽真空，直到工作真空度到达2Pa后，停机30min，观察真空计读数，看压升率是否在正常的0.5Pa/h之内，合格则继续，设备可以正常使用，否则继续重新安装原测温口盖板。从测温法兰盘中拆下测量热电偶，注意抽出时要小心取直，以防止折断、损坏热电偶。