真空热处理炉的真空系统检漏是生产中经常出现的一个大问题.关于检漏技术有许多资料介绍.本文重点对真空系统在使用中出现故障时提出了处理方法,就是根据不同时间、条件进行理论分析,可以判断出漏气可能产生的部位,找到漏孔.由现场经验得知:用分析法找漏,比用检漏仪检漏即降低成本,又迁就了一般小厂不具备检漏仪器的不足.而且此法找漏有时又快又准确.
对于真空热处理炉的检漏,包括炉体和真空系统两部分。当炉体与真空系统装配完了之后,无论其密封如何可靠,一般来说总是有些漏气存在的。为此采用漏气率大小作为热处理炉的一个重要的性能指标。漏气率是指单位时间内通过治漏孔进人炉中的气体流量,其单位是 Pa·L/s(或 Torr·L/s)。 目前国内外对真空热处理炉的漏气率均采用压力增长率(升压率)来表示。一般定为0.7Pa/h(或 5微米汞柱/时)。只要小于或等于此数值,炉子的漏气率为合格。我们希望漏气率越小越好。因为它能够影响炉室的极限真空度,同时也会使被处理工件表面氧化,降低光亮度。
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