真空炉系统主要由有关控制设备、加热系统、真空系统组成。
真空系统由扩散泵、机械泵、主路阀、高真空挡板阀和旁路阀等组成。机械泵为粗真空装置,其动力源是一台三相交流电动机,通过交流接触器的断开与吸合实现泵的停止与工作。高真空油扩散泵为高真空装置,借助扩散泵油和前级机械泵及电炉加热的作用完成高真空度要求的抽气工作,通过交流接触器的断开与吸合控制其电加热炉的通断,进而控制扩散泵的停止与动作。
加热系统由加热元件和加热电源组成,加热电源选用磁性调压器,利用直流激磁电源实现带负载的无触点的平滑无级调压,其直流激磁电源由功率调控器控制,而功率调控器利用温控仪通过热电偶检测到的炉温设定值与当前值之差,经PID运算,输出5~21mA的直流信号,控制磁性调压器中的电压和磁饱,进而按温控仪所设置的温控曲线实现温度的自动调控和加热电流。
在所设计的分布式控制系统中,充分利用计算机强大的处理功能和数据运算,及时监控系统的工作状态,尤其是引入智能PID参数的自动整定,进一步提升真空炉系统的控制指标。
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