1、真空炉液压系统噪声不正常，油泵吸油管道或滤油器堵塞，清洗吸油管道或滤油器。

 2、真空炉处理钛合金，不宜用氮气作为冷却气体，因为钛和氮在高温下反应，形成了金黄色氮化钛。

 3、真空炉液压系统的压力不稳定，溢流阀有脏物或损坏，清洗或检修溢流阀。

 4、液压系统压力低，油缸或油马达有较大泄漏，检查更换油缸或油马达的密封装置。

 5、真空阀门失控，压缩空气压力不够，保证压缩空气压力>0.5MPa。

 6、油淬零件表面不亮，零件入油前温度太高，入油前零件温度不大于900ºC。

 7、气淬零件表面不亮，冷却氮气纯度不够，确保氮气纯度（体积分数）在99.99%以上。

 8、油泵不排油，泵轴旋转方向不对，倒换油泵电机的电源接头。

 9、油缸或油马达转动有抖动，系统中有空气，将系统中空气排除。

 10、工作真空状态下淬火，应使用真空淬火油，此油具有较低的饱和蒸气压。

 11、真空炉活动连接部分全部采用o型橡胶圈密封连接，此部分均通水冷却。

 12、真空炉的保养应在真空或充纯氮状态下，避免平时不用时吸气、吸潮。

 13、真空加热辐射为主，工件在炉内应该保持间距。

 14、升温过程中,工件及炉内材料会放气,使真空度下降。

 15、真空回火炉应该具有快冷装置.冷却水的压力应该大于0.2Mpa,流量可调。

 16、升温：放入工件后，一般先预抽至6.6Pa时方可升温加热。