真空热处理是真空技术与热处理两个专业相结合的综合技术，是指金属制件在真空或先抽真空后通惰性气体条件下加热，然后在油或气体中淬火冷却的技术。真空热处理炉是将工件在真空条件下进行热处理的设备，真空热处理几乎可实现全部热处理工艺，如淬火、退火、回火、渗碳、氮化等；真空热处理和其他传统热处理方法相比较具有一些独特的优点：

1 净化作用可使金属表面氧化物分解，从而获得光亮、清洁的工件表面。

2 真空保护作用可使金属避免氧化、脱碳、增碳等不利影响，保持工件表面原有的化学成分和光亮度。

3 除气作用在真空中可除去工件原来溶解、吸收的气体，使金属产品性能有明显提高。

4 脱脂作用在真空中加热，金属零件在机械加工和冲压成型过程中使用的冷却剂、润滑剂等油脂能自行挥发，并被真空抽走，不致在高温时与零件表面产生反应。因此可以轻易得到无氧化、无腐蚀的非常光洁的表面。

5 节省能源真空热处理炉蓄热和散热损失小、热效率高。

6 被处理的工件在炉内加热缓慢，内热温差较小，热应力小，因而变形小；不易开裂，产品合格率高；真空热处理可轻易地严格按照工艺要求控制温度变化，从而获得理想的金相组织，提高了工件的机械性能和使用寿命；真空热处理工艺的稳定性和重复性好。

7 真空热处理后的产品可直接用于高精加工或作为最终产品，免除了清洗、表面加工等辅助工序，大大降低生产成本。

8 对环境没有污染和公害，自动化程度高，操作安全简单。

这一系列的优点，使真空热处理设备和工艺被越来越重视，其应用范围也越来越广,目前它已成为工模具中较好的热处理工艺,可以毫不夸张地说，真空热处理已成为当前先进热处理生产技术的主要标志。